介绍白光干涉仪工作原理
白光干涉仪是一种高精度的光学测量仪器,在许多领域都有着广泛的应用。其工作原理基于光的干涉现象。白光干涉仪使用的光源为宽谱白光,包含了多种波长的光。当一束白光入射到被测物体表面时,一部分光被反射回来,形成反射光;另一部分光透过被测物体表面,形成透射光。
反射光和透射光会沿着不同的路径传播,最终在干涉仪的探测器处相遇。由于这两束光经历的光程不同,会产生光程差。
当光程差等于光源中某一波长的整数倍时,该波长的光就会发生相长干涉,表现为亮条纹;当光程差等于光源中某一波长的半整数倍时,该波长的光就会发生相消干涉,表现为暗条纹。
由于白光包含了多种波长的光,不同波长的光会在不同位置形成干涉条纹。通过对干涉条纹的分析和处理,可以得到被测物体表面的形貌、高度等信息。
在实际测量中,通过移动干涉仪中的一个光学元件,改变光程差,从而得到一系列的干涉图像。然后利用专门的算法对这些图像进行处理,就能够精确地测量出被测物体表面的微观结构和形貌特征。
白光干涉仪具有非接触式测量、高精度、高分辨率等优点,能够对各种材料的表面进行快速、准确的测量,在半导体制造、光学加工、材料科学研究等领域发挥着重要作用。
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