旋转涂布机属于什么设备
旋转涂布机属于用于在平面基材上涂布液态涂料的设备。旋转涂布机,也称为匀胶机、甩胶机、旋转涂胶机或旋转涂层机,是一种利用旋转离心力将多余的涂液甩离被涂物,从而在工件表面形成薄且均匀的涂层的设备。这种设备广泛应用于半导体晶圆的表面处理、光阻涂布等流程类工序,以及光学媒介涂膜、镜头底剂及调光液的涂布等领域。
旋转涂布机的工作原理是将基材放置在机器上,然后通过涂布辊子将涂料均匀涂布在基材上,最后通过旋转基材,使涂料在基材表面形成均匀薄膜的过程。在操作过程中,需要控制匀胶的时间、转速、滴液量以及所用溶液的浓度、粘度来控制成膜的厚度。
此外,旋转涂布机的关键元器件通常由专业公司设计并进口,整机装配和调试则由国内公司完成。这种设备的技术指标包括调速范围、匀胶时间、转速稳定度、电源电压、电机功率等。
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