Sensofar共聚焦白光干涉仪于传统白光干涉仪的区别
Sensofar共聚焦白光干涉仪与传统白光干涉仪在测量原理、功能及应用特点上存在显著差异。以下是对这两者的详细比较：一、测量原理
1.传统白光干涉仪：
（1）基于白光干涉技术，通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。
（2）利用白光作为光源，结合精密Z向扫描模块和3D建模算法，对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。
（3）通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，实现器件表面形貌的3D测量。
2.Sensofar共聚焦白光干涉仪：
（1）结合了共聚焦技术和白光干涉技术，具有更高的测量精度和灵活性。
（2）共聚焦技术通过放置在光源后的照明针孔和放置在检测器前的探测针孔，实现点照明和点探测。
（3）白光干涉技术则用于扫描光滑到中等粗糙表面的表面高度，提供高精度的测量数据。
二、功能及应用特点
1.传统白光干涉仪：
（1）多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的精准。
（2）提供高精度的表面形貌测量数据，测量范围大，适用于大尺寸样品的测量。
（3）具有自动拼接测量、定位自动多区域测量等功能，可实现大区域、高精度的测量。
2.Sensofar共聚焦白光干涉仪：
（1）在具备数百微米的高度扫描范围的同时，也能拥有0.1nm的高度测量分辨率，从而克服了传统测量方式的技术限制。
（2）提供了更丰富的测量和分析功能，如表面粗糙度、波纹度、形状和尺寸等参数的测量。
（3）配备真彩相机，提供还原的3D真彩图像，对细节的展现更为清晰，便于观察和分析。
（4）结构相对简单，由轻量化的设备主机和电脑构成，便于携带和移动。
（5）操作便捷，采用全电动化设计，无缝衔接位移轴与扫描轴的切换，提高了测量效率。
三、总结
综上所述，Sensofar共聚焦白光干涉仪在测量原理、功能及应用特点上相较于传统白光干涉仪具有显著优势。它结合了共聚焦技术和白光干涉技术的优点，提供了更高的测量精度和更丰富的测量功能。同时，其结构简单、操作便捷的特点也使得它在微纳米级表面光学分析领域具有更广泛的应用前景。选择哪种仪器取决于具体的测量需求和样品特性。
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