台阶仪测薄膜厚度原理
台阶仪是一种用于测量薄膜厚度的精密仪器，主要通过检测样品表面高度的变化来确定薄膜的厚度。其基本原理可以概括为以下几个步骤：接触式测量：通常采用一个非常尖锐的探针（如金刚石探针）轻轻地接触样品表面，并沿着样品表面扫描。
高度变化检测：当探针从基底移动到薄膜覆盖的区域时，会因为薄膜的存在而产生高度上的变化。台阶仪能够精确测量这种高度差。
数据采集与分析：仪器记录下探针位置和对应的高度值，并通过内置软件计算出薄膜的厚度。
非破坏性：整个测量过程不会损坏样品，适用于各种材料和厚度范围。
台阶仪特别适用于测量厚度均匀性、台阶高度以及薄膜与基底之间的界面特性等参数，在半导体制造、光学涂层和其他微纳米技术领域有着广泛的应用
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