sgqt 发表于 2024-8-29 15:53:59

匀胶机的特点及其工作原理

匀胶机转速稳定、启动迅速,旋涂均匀,操作简单,结构紧凑实用,为实验室提供了理想的解决方案。广泛应用于微电子、半导体、新能源、化工材料、生物材料、光学,硅片、载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。匀胶机主要用于液体,胶体的成膜性能试验,表面涂覆。
一、产品特点:
1、采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。
2、5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,多100个阶段。
3、内置水平校准装置,限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
4、多重安全保护。
5、电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全。
6、盖子自锁功能,防止飞片盖开伤人。
7、双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,限度保证实验人员安全。
8、一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。
9、不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,PTFE旋涂腔体,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盘,PTFE嵌镶钢化玻璃上盖,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
10、适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等多种材料。
二、工作原理:
匀胶机在MEMS微加工,生物,材料等领域得到了非常广泛的应用。其能够用来对厚度比10纳米还要小的薄膜进行制备,也常常在1-100微米左右厚光刻胶沉积层的光刻工艺中得到应用。
半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等均能够用许多平面基底材料来涂覆。
利用负在片托上产生,在片托上吸附需要旋涂的基底材料,在基底材料的表面滴注胶液,利用对电机的旋转速度的精确调节从而来使离心力大小得以改变,与此同时利用滴胶装置来对胶液的流量进行控制,从而使得制备薄膜所需的厚度达到。除此以外旋涂时间,胶液的粘度,涂覆的温度和湿度等环境因素也会对薄膜厚度产生影响。

basanling 发表于 2024-9-11 20:50:01

楼主的分享让我受益匪浅,学到了不少新东西!

Denpseund 发表于 3 天前

楼主的帖子真是及时雨,我最近也在研究这款设备。你的分析很到位,特别是关于设备性能和操作技巧的部分,让我受益匪浅。我之前还有些犹豫,现在更加明确了选择。谢谢你的分享!

sf3557 发表于 前天 19:15

哈哈,楼主的回复太逗了,不过说得很有道理。
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