离子溅射仪原理
离子溅射仪的原理是通过在低真空环境中利用高能粒子轰击固体靶材料,使靶材料的原子或分子从表面脱离并沉积到样品上,形成薄膜或涂层。离子溅射仪是一种广泛应用于材料科学、电子工程和表面处理等领域的设备。其核心原理建立在辉光放电现象之上,通过电场加速正离子轰击靶材(阴极),导致靶材上的原子或分子被弹出并在样品表面形成均匀的薄膜。这一过程涉及复杂的物理相互作用,包括动能传递、动量交换以及能量和物质的传输等。
那怎么能操作好这个仪器? 离子溅射仪 这是个好东西
坐等更新,这个问题很重要。
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