气相沉积炉的功能有哪些
气相沉积炉是一种特殊的工业设备，其主要功能包括但不限于以下几个方面：一、涂层制备
1.表面热解炭涂层制备：气相沉积炉主要用于石墨、半导体器件、耐热冲刷材料等的表面热解炭涂层制备。这些涂层可以是薄膜材料涂层、硬质涂层或防腐涂层等，能够显著提高材料的耐磨性、耐腐蚀性、耐高温等性能。
2.高纯度沉积：气相沉积炉能够控制气相物质的分压、流动速度、沉积速率等参数，从而确保沉积产品的纯度高、重现性好、一致性佳。
二、材料处理
1.广泛适用性：气相沉积炉可在常温至高温范围内对几乎所有材料进行沉积处理，包括许多非金属材料和难熔金属合金材料。
2.自动化操作：气相沉积炉能够实现自动化操作，提高生产效率，降低人工成本。
三、具体工艺过程
1.真空或惰性气氛条件：气相沉积炉在真空或惰性气氛条件下工作，通过加热系统（如电阻加热等）将炉内工件加热到一定温度后，通入碳源性气体。这些气体在高温下裂解后产生含碳物质，沉积于工件表面，达到组织增密的目的。
2.炭/炭复合材料制备：在制备炭/炭复合材料时，气相沉积炉先将炭纤维编织的预制体（零件毛坯）放入炉中，抽真空后开始升温。当温度升至一定值（如1050℃）时，通入天然气等碳源性气体。天然气在高温下热解为炭和氢气，炭被零件吸附，氢气经排气口排出炉外。经过多个周期的连续沉积，最终完成炭/炭产品的制备。
四、控制系统
1.计算机控制系统：气相沉积炉配备有先进的计算机控制系统，可以实时监测和调节炉内温度、压力、流量等关键参数，确保沉积过程的稳定性和可控性。
2.多重画面与运行参数：为了方便工作人员操作，计算机控制系统设置了多重画面和多个运行参数，使得工作过程更加直观、操作更加简便。
综上所述，气相沉积炉在材料表面涂层制备、材料处理以及具体工艺过程中发挥着重要作用，具有广泛的应用前景和重要的工业价值。
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