真空烧结炉真空度标准
真空烧结炉真空度标准的定义和测量方法真空度是指处于真空状态下的气体稀簿程度,真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。真空度=大气压强-绝对压强。真空烧结炉常用的真空测量方法包括压缩式真空计、热导式真空计和电离真空计等。
不同类型真空烧结炉的真空度标准
真空加压烧结炉:最高使用温度2300℃,真空度为7×10^-3Pa,升温时间为80分钟。
真空热压烧结炉:最高温度1600℃,工作区尺寸为Φ160×160mm,最大压力为30T。
真空中频烧结炉:冷态极限真空度为50×10^-3Pa。
真空气氛热压烧结炉:极限真空度为2Pa,最高温度为2200℃。
卧式高真空烧结炉:工作真空度为1.3×10^-3Pa,最高加热温度为1600℃。
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