台阶仪工作原理
本帖最后由 烟火里的尘埃 于 2024-10-14 13:16 编辑台阶仪测薄膜厚度的原理主要基于光的干涉现象。以下是基本原理和工作流程：
1. 原理
当光线照射到薄膜表面时，会在薄膜的顶部和底部产生反射。两束反射光之间会因为光程差而发生干涉，形成明暗相间的干涉条纹。
2. 测量步骤
1. 光源发射：台阶仪内置的光源（通常是激光）发出单色光，照射到薄膜上。
2. 反射光的干涉：
光线在薄膜的上表面和下表面反射，形成两条反射光路径。
这两条光的相位差决定了干涉条纹的形成。
3. 计算光程差：通过分析干涉条纹，可以得到光程差。
4. 数据处理：测得的干涉条纹信息可以通过计算机进行分析，从而精确计算出薄膜的厚度。
3. 优势
高精度：能够测量微米级甚至纳米级的薄膜厚度。
非接触测量：避免对薄膜造成任何物理损伤，适合脆弱材料。
4. 应用
台阶仪广泛应用于半导体工业、光电器件、涂层技术等领域，用于质量控制和研发。
通过上述原理和步骤，台阶仪可以有效地测量薄膜的厚度，为相关领域提供重要的数据支持。
当光线照射到薄膜表面时，会在薄膜的顶部和底部产生反射。两束反射光之间会因为光程差而发生干涉，形成明暗相间的干涉条纹。 这个问题很有代表性，很多人都关心。
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