氦质谱检漏仪校准规范
氦质谱检漏仪的校准规范通常包括以下几个方面：校准气体：使用高纯度氦气作为校准气体，确保气体的浓度和流量稳定。
校准程序：
设备准备：确保仪器在正常工作状态，清洁和检查各连接部位。
标准漏源：使用已知泄漏率的标准漏源进行校准，通常在1 × 10⁻⁹至1 × 10⁻⁶ mbar·L/s范围内。
测试步骤：按照规定的程序逐步增加标准漏源的泄漏率，并记录仪器的响应。
数据记录与分析：记录各个泄漏率下的测量值，计算仪器的灵敏度（即测量值与实际泄漏率的比值）。
频率：建议定期进行校准，一般每半年或每年进行一次，具体依据使用频率和环境条件。
校准证书：完成校准后，应出具校准证书，说明校准日期、校准结果及仪器的状态。
记录保持：保存校准记录和报告，以便追溯和验证。
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