干式螺杆真空泵工作原理

manwu1211

干式螺杆真空泵是一种无油润滑的真空泵，广泛应用于半导体制造、化工、制药等行业，特别适合处理易燃、易爆、腐蚀性气体。其工作原理基于一对相互啮合但不接触的螺旋形转子（螺杆）的旋转运动，具体过程如下：  
进气阶段：当螺杆旋转时，位于泵入口处的空间体积逐渐增大，形成低压区，外界气体被吸入泵内。  
压缩阶段：随着螺杆继续旋转，气体被封闭在两个螺杆之间的腔室内，并沿着螺杆轴向移动。在这个过程中，由于螺杆的啮合，腔室的体积逐渐减小，气体被压缩，压力升高。  
排气阶段：当气体被压缩至足够高的压力时，到达泵的出口位置，此时出口处的阀门开启（对于无阀设计的泵，则是自然流出），被压缩的气体被排出泵外，完成一个工作循环。  
干式螺杆真空泵的关键特点是其内部无油操作，因此不会污染被抽气体，同时具有较高的抽速和较低的极限压力，能有效处理各种复杂工况下的气体。此外，干式螺杆真空泵还具有结构紧凑、运行平稳、维护简便等优点。

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谢谢你的见解，让我对这个问题有了新的理解。

李小狼

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