氦质谱检漏仪原理

茂东机械

一、氦气的特性

• 穿透性强：氦气是一种分子量及粘滞系数小的惰性气体，其分子尺寸非常小，能够穿过非常小的漏孔或裂缝。
• 稳定性高：氦气不易与其他物质发生化学反应，因此在使用过程中不会对被检测物体产生影响。
• 本底噪声低：氦气的本底噪声较低，有助于提高检漏仪的灵敏度。
  

二、工作原理

• 氦气注入：在使用氦质谱检漏仪时，首先需要将氦气注入被检测物体的内部或周围环境中。
• 离子化过程：在质谱室内，离子源发射出电子，这些电子在电离室内来回振荡，与室内气体和经漏孔进入电离室的氦气相互碰撞，使其电离成正离子。这些氦离子在电场的作用下被加速并导向质谱分析器。
• 质谱分析：质谱分析器对离子进行分离和检测。不同质量的离子在磁场中受到洛伦兹力的作用，产生偏转并形成不同的圆弧形轨道。通过调整加速电压和磁场强度，可以使不同质量的离子分别通过磁场和接收缝到达接收极并被检测。
• 信号检测与判断：通过光电倍增管等检测器检测氦离子的信号强度，根据信号强度的变化可以判断是否存在泄漏。如果存在泄漏，则氦离子会从漏孔中渗出并被检测器捕捉到，从而产生相应的电信号输出。
  

三、应用与特点

• 应用领域：氦质谱检漏仪以其高精度、高灵敏度的特点，被广泛应用于电力行业、航空航天、汽车工业、制冷行业以及真空行业等多个领域。
• 特点：能够检测到微量的氦气泄漏，并且具有非常高的灵敏度。同时，由于氦气的稳定性高、不易与其他物质发生反应，因此在使用过程中不会对被检测物体产生影响。
  

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