【求助】椭偏仪的工作原理

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椭偏仪这是干什么用的呀？

Yoo-hu

椭偏仪是一种用于测量薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的非接触式、非破坏性的光学测量设备。它通过分析偏振光在样品表面反射或透射后偏振态的变化，获得材料的物理和化学性质信息。

从测量原理来看，椭偏仪利用的是光的偏振特性。当一束线性偏振光入射到样品表面并被反射时，由于不同材料的光学性质各异，反射光的偏振态会发生改变，形成椭圆偏振光。通过测量这些变化并结合适当的物理模型，可以精确计算出薄膜的厚度、折射率、消光系数等参数。

椭偏仪的测量过程通常涉及将非偏振光转化为线性偏振光，再通过特定光学系统使线性偏振光转变为椭圆偏振光，最后通过探测器测量反射光的偏振特性。这一过程需要多个组件协同工作，包括偏振片、光学系统、样品反射装置、探测器和计算机。

椭偏仪具有高精度、高灵敏度的特点，能够测量薄至1纳米的薄膜，且不需要破坏样品即可进行多次测量。这使得它在许多领域得到广泛应用，如半导体制造、数据存储、光学镀膜、平板显示器以及生物医学研究等。近年来，随着科技的进步，椭偏仪在新兴领域如钙钛矿太阳能电池的光管理、全自动椭偏分析系统开发等方面显示出其独特的应用价值。

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椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。

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