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台阶仪工作原理

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发表于 2024-10-14 13:08:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 烟火里的尘埃 于 2024-10-14 13:16 编辑

  台阶仪测薄膜厚度的原理主要基于光的干涉现象。以下是基本原理和工作流程:
  1. 原理
  当光线照射到薄膜表面时,会在薄膜的顶部和底部产生反射。两束反射光之间会因为光程差而发生干涉,形成明暗相间的干涉条纹。
  2. 测量步骤
  1. 光源发射:台阶仪内置的光源(通常是激光)发出单色光,照射到薄膜上。
  2. 反射光的干涉:
  光线在薄膜的上表面和下表面反射,形成两条反射光路径。
  这两条光的相位差决定了干涉条纹的形成。
  3. 计算光程差:通过分析干涉条纹,可以得到光程差。
  4. 数据处理:测得的干涉条纹信息可以通过计算机进行分析,从而精确计算出薄膜的厚度。
  3. 优势
  高精度:能够测量微米级甚至纳米级的薄膜厚度。
  非接触测量:避免对薄膜造成任何物理损伤,适合脆弱材料。
  4. 应用
  台阶仪广泛应用于半导体工业、光电器件、涂层技术等领域,用于质量控制和研发。
  通过上述原理和步骤,台阶仪可以有效地测量薄膜的厚度,为相关领域提供重要的数据支持。

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发表于 2024-10-14 14:23:23 | 显示全部楼层
当光线照射到薄膜表面时,会在薄膜的顶部和底部产生反射。两束反射光之间会因为光程差而发生干涉,形成明暗相间的干涉条纹。
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发表于 2024-10-23 20:09:46 | 显示全部楼层
这个问题很有代表性,很多人都关心。
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