沉积炉工艺流程

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沉积炉是用于制造半导体器件的重要设备，其工艺流程大致如下：

1.基片准备：首先，准备要用于沉积的基片（通常是硅片），必须先进行清洗和表面处理，以确保表面干净和适合沉积。
2.装载基片：清洁的基片被装载到沉积炉的载具上，通常是通过机械手或者人工放置。
3.预处理：在进行实际的沉积之前，可能需要进行一些预处理步骤，例如加热基片以去除残留的水分或氧化层，以及预先引入某些化学物质以调控沉积过程中的条件。
4.沉积：主要沉积过程开始。这可能包括化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD）等技术。在CVD中，通过将气体化学物质引入沉积炉并加热，使其在基片表面沉积固体薄膜。在PVD中，物质从固体源蒸发并在基片表面沉积。沉积过程中需要严格控制温度、气氛、流速和时间等参数，以确保所需的沉积薄膜质量和厚度。
5.冷却和卸载：沉积完成后，基片通常会在一定的温度条件下冷却，以避免热应力损伤。之后，基片可以从沉积炉中卸载。
6.后处理：沉积完成后的基片可能需要进一步的后处理步骤，如清洗、检查和测试，以确保沉积膜的质量和一致性。

沉积炉的工艺流程因所使用的具体沉积技术、器件类型和工艺要求而有所不同，但以上步骤大致描述了一般的沉积炉工艺流程。

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楼上的回答很专业，学习了。

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很小众的设备，大部分人应该都没见过

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学习下，感谢楼主分享