双频激光干涉仪原理

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双频激光干涉仪是一种利用激光干涉原理来测量光程差的精密光学仪器，它通过将两束具有微小频率差的激光束进行干涉，利用干涉条纹的移动来测量被测量物体的位移、形变等参数。以下为双频激光干涉仪的原理介绍：
基本原理：双频激光干涉仪的核心是激光的干涉现象。激光具有高相干性和定向性，其频率稳定、波长单一。在双频激光干涉仪中，通常使用两束具有微小频率差的激光束进行干涉。这两束激光束经过分束器分成两路，分别通过不同的光路传播，然后再经过反射镜反射回来。当这两束激光束重新合并时，由于它们的频率略有不同，会产生干涉现象。
工作过程：激光器产生两束具有微小频率差的激光束；这两束激光束经过分束器分成两路，分别通过不同的光路传播；接着，它们再经过反射镜反射回来，重新合并时产生干涉现象；最后，通过控制其中一束激光的光程差，观察干涉条纹的移动，从而实现对光程差的测量。
信号处理：在双频激光干涉仪中，两个激光器发出的光束经过分束器后，被分成两条光路，分别称为信号光路和参考光路。信号光路中的激光经过一系列的光学元件，被引导到待测物体上，而参考光路中的光束直接通过一个干涉仪中的组合光栅，产生的分立的频谱图被传感器记录下来。通过计算信号光路中收集到的光束的干涉图与参考光路中的频谱图之间的相位差，就可以得到待测物体的长度或形态信息。
优势特点：双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量，即使不做细分也可达到μm量级，细分后更可达到nm量级。除了可用于长度的精密测量外，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。由于其接受信号为交流信号，前置放大器为高倍数的交流放大器，没有零点漂移等问题，且测量精度不受空气湍流的影响，无需预热时间。

恒瑞机械工程

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球哈

回答很专业，长见识了。