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扩散泵多少度可以关机

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发表于 2024-11-25 11:34:21 | 显示全部楼层 |阅读模式
扩散泵多少度可以关机?
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    发表于 2024-11-25 11:40:28 | 显示全部楼层
    扩散泵在高真空系统中通常用于实现超高真空,广泛应用于物理实验、材料处理、半导体制造等领域。扩散泵的工作温度通常需要保持在较高的水平,以确保其能够有效地工作。扩散泵在工作时通常维持在150°C至250°C之间,关机时建议温度降至 100°C 以下 后再停止操作。为了保护设备,避免过快的降温和过早的关机。在具体操作时,参考设备厂商的技术手册进行正确的操作。
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    发表于 2024-11-25 11:49:52 | 显示全部楼层
    扩散泵的关机温度通常与泵内的工作温度和泵体材料的热膨胀特性相关。扩散泵一般是在高真空环境下运行的,其工作时需要加热油(通常是扩散泵油),而油的温度通常会达到 160°C 至 250°C 之间。

    在关机时,扩散泵的温度需要降至 低于 100°C,最好在 60°C 至 80°C 范围内关机。这是为了避免高温下油的氧化以及冷却过程中可能产生的负压或反向气流,防止扩散泵油进入泵体或系统中的其他部件。

    具体的关机温度也会根据不同的扩散泵设计和制造商的建议有所不同,建议参考设备的操作手册或技术资料来确定最佳的关机温度。
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