椭偏法测量薄膜厚度的原理

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椭偏法（Ellipsometry）是一种光学测量技术，主要用于测量薄膜的厚度、折射率以及其他光学特性。其基本原理基于偏振光与薄膜表面相互作用的变化。  
具体来说，椭偏法利用一束已知偏振状态的光（通常是线偏振光）以一定入射角射到薄膜表面。这束光会在薄膜的各个界面发生多次反射和折射，导致光的偏振状态发生变化。通过测量反射光的偏振状态变化，可以推断出薄膜的厚度和折射率。  
椭偏法的核心在于分析光的偏振状态变化。入射光经过薄膜反射后会变成椭圆偏振光，这种变化与薄膜的厚度和折射率密切相关。通过测量椭圆偏振光的参数（如振幅比和相位差），可以建立数学模型，拟合出薄膜的厚度和折射率。

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