数字式质量流量控制器 Alicat的MC系列数字式质量流量控制器可通过定制化的高速比例调节阀 精确测量与控制过程气体的质量流量体积流量和压力,还可同时测量并显示 气体温度 对安装方向不敏感。美国ALICAT-MC系列质量流量控制器提供总体的用户支持,包括技术咨询 快捷的设备校准服务和质保。 美国艾里卡特MC系列质量流量控制器 标准精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS 有效范围0.5- 内置90-130条气体曲线可选 响应速度100MS 多种数字信号可选 美国ALICAT-MC系列质量流量控制器性能参数 性能/参数 | MC系列质量流量控制器 | 流量范围 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量单位如kg/h、g/min等 | 标定气体 | 内置90条气体可选择 | 精度(调零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) | 高精度(调零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM | 重复性 | ±0.2%FS | 漂移(零点/满量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm | 工作范围 | 0.5- | 响应时间 | 100毫秒(调整) | 启动预热时间 | 1秒内 | 标准工况 | 25ºC & 14.696 psia,可自定义修改 | 工作温度范围 | -10~-50℃(另有高温订制品) | 工作湿度范围 | 0-RH(非冷凝) | 工作压力 | 10Bar | 安装方向 | 任意 | 阀门状态 | 常闭 | 材质 | SUS302303304不锈钢、密封圈VITON | 显示屏 | 背光LCD显示屏,同时显示流量、压力、温度 |
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