制程设备是指什么？

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‌制程设备是指在半导体制造过程中使用的各种设备，主要用于将初始的硅片加工成功能完整的集成电路芯片。‌这些设备包括多种类型，每种设备在制程中扮演着不同的角色。‌
半导体工艺制程步骤及对应的制程设备：
‌清洁‌：使用酸碱清洗机和超声波清洗机等设备，去除硅片表面的杂质和污染物。
‌沉积‌：通过化学气相沉积机（CVD）或物理气相沉积机（PVD）将材料沉积到硅片表面，形成薄膜。
‌光刻‌：使用光刻机和掩膜对准仪，将芯片上的图形图案转移到光刻胶层上。
‌蚀刻‌：利用干法蚀刻机或湿法蚀刻机，去除未被光刻胶保护的材料，形成所需的结构。
‌扩散‌：通过扩散炉或快速热退火炉，将材料掺杂到硅片内部，调节电子特性。
‌离子注入‌：使用离子注入机或中子注入机，改变硅片表面的电子特性。
‌金属化‌：通过金属蒸发机或电镀机，在芯片表面形成金属导线和接触点，连接芯片各个部分。
芯片制程设备的原理和功能：
芯片制程设备的原理基于微电子学和半导体物理学的基本概念。晶圆制备是第一步，硅锭被切割成薄片并通过化学机械抛光（CMP）使其表面光滑。光刻技术是定义晶圆上图案的关键步骤，使用掩膜和紫外光照射来形成芯片上的图案。刻蚀是将图案转移到晶圆上的重要步骤，通过化学气体的等离子体去除不需要的材料。沉积是通过化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD）在晶圆上添加新的材料层。
半导体工艺制程设备的应用领域：
半导体工艺制程设备广泛应用于电子、生物**及食品饮料等行业的先进制造业企业，提供高纯工艺系统的整体解决方案。例如，至纯科技的半导体制程设备主要应用于核心工序段的关键制程工艺中，包括湿法设备及其他相关设备。

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