HMDS预处理真空烘箱故障排查与维护技巧说明

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　　HMDS预处理真空烘箱在电子产品制造过程中起着至关重要的作用，它能够确保光刻胶与硅晶圆之间的良好附着力，从而提高光刻工艺的精度和成功率。然而，任何设备的正常运行都离不开日常的维护和及时的故障排查。
　　一、日常维护
　　清洁工作：每次使用后，应及时清理HMDS预处理真空烘箱内的杂物和残留物料，用干净的湿布擦拭内壁和搁板，确保无污垢和灰尘积累。

　　检查密封性：定期检查门的密封圈，确保其完好无损，无老化、变形或破损。如有损坏，应及时更换，以保证良好的真空密封效果。

　　真空系统维护：定期检查真空泵的油位和油质，及时更换或添加真空泵油；清理真空泵的进气口滤网，防止灰尘和杂物堵塞。

　　电气部件检查：检查电源线是否有破损、插头是否松动，以及控制面板上的按钮和指示灯是否正常工作。

　　二、故障排查技巧
　　真空抽不上：首先检查密封条是否老化失效，然后检查真空泵是否失效，接着确认门是否关紧，检查真空表是否显示假象。

　　温度波动大：检查外界供电电压是否稳定，以及控温仪表是否漂移。如果供电电压不稳定，可以考虑使用稳压器；如果控温仪表漂移，应及时校准。

　　不升温：检查加热器、传感器和继电器是否断路，以及控温仪表是否设定正确。如果加热器损坏，应及时更换；如果传感器或继电器故障，也应尽快维修或更换。

　　控温失效：检查传感器和继电器是否短路，以及控温仪表是否失效。如有必要，可联系专业人员进行维修。

　　三、注意事项
　　外壳需要有效接地，以确保使用安全。

　　取出被处理物品时，如处理的是易燃物品，需要待温度冷却到低于燃点后，才能放入空气。

　　烘箱发生异常现象时，应及时检查、维修，如不能准确判断故障。

　　HMDS预处理真空烘箱的日常维护和故障排查是确保其稳定运行的关键。只有做好这些工作，才能确保光刻工艺的顺利进行，提高电子产品的制造质量。

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