真空炉真空度要求

川力机械

真空炉的真空度要求取决于具体的工艺需求和应用领域。不同的材料和工艺对真空度的要求差异较大，通常以**帕斯卡（Pa）或托（Torr）**为单位表示。以下是常见真空炉应用及其对应的真空度要求：

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1. 低真空（粗真空）

• 真空范围：
  
  
  • 1×10⁵ Pa ~ 1×10² Pa（760 Torr ~ 1 Torr）
    
    
• 应用场景：
  • 预抽真空阶段
  • 脱气、干燥处理
  • 某些热处理工艺（如退火、回火）
    
    
  
  

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2. 中真空

• 真空范围：
  
  
  • 1×10² Pa ~ 1×10⁻¹ Pa（1 Torr ~ 10⁻³ Torr）
    
    
• 应用场景：
  • 钎焊、烧结
  • 某些金属的热处理（如不锈钢、钛合金）
  • 真空脱脂
    
    
  
  

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3. 高真空

• 真空范围：
  
  
  • 1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa（10⁻³ Torr ~ 10⁻⁷ Torr）
    
    
• 应用场景：
  • 精密材料的热处理（如高温合金、陶瓷材料）
  • 真空镀膜
  • 电子元器件的制造
  • 单晶硅、半导体材料的处理
    
    
  
  

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4. 超高真空

• 真空范围：
  
  
  • 1×10⁻⁵ Pa 以下（10⁻⁷ Torr 以下）
    
    
• 应用场景：
  • 科研实验（如表面分析、粒子加速器）
  • 高纯度材料的制备
  • 特殊半导体工艺
    
    
  
  

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不同材料的热处理真空度要求：

• 不锈钢：
  
  
  • 真空度：10⁻² Pa ~ 10⁻³ Pa（10⁻⁴ Torr ~ 10⁻⁵ Torr）
    
    
• 钛合金：
  • 真空度：10⁻² Pa ~ 10⁻³ Pa（10⁻⁴ Torr ~ 10⁻⁵ Torr）
    
    
• 高温合金：
  • 真空度：10⁻³ Pa ~ 10⁻⁴ Pa（10⁻⁵ Torr ~ 10⁻⁶ Torr）
    
    
• 陶瓷材料：
  • 真空度：10⁻² Pa ~ 10⁻⁴ Pa（10⁻⁴ Torr ~ 10⁻⁶ Torr）
    
    
• 半导体材料：
  • 真空度：10⁻⁵ Pa 以下（10⁻⁷ Torr 以下）