XEN-3880-RW热导式气体传感器在Pirani皮拉尼真空计中的应用

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Pirani真空计，作为一种热导率测量仪，其工作原理基于气体热导率随压力降低而降低的特性。在Pirani真空计中，加热丝作为核心部件，被封闭在一个室内，并通过恒定电流加热。加热丝的温度升高后，其温度取决于通过传导和对流向周围气体散热的速率。当加热丝被真空或低压气体包围时，热导率降低，加热丝因此变得更热，导致电阻变化。这种电阻变化可以通过惠斯通电桥来精确测量，从而得出与周围气体压力相关的输出读数。

XEN-3880-RW，作为Xensor Integration公司的一款Pirani真空计传感器，其工作原理更为精细。它通过对薄膜中心的热电堆的热接点和芯片框架上的冷接点之间的热阻进行测量来实现功能。加热器电阻器加热膜的中心，产生的温度升高通过热电堆来测量。实际温度升高的程度取决于膜中心和环境之间的有效热阻，这一热阻受到环境气体热阻的直接影响。因此，XEN-3880-RW能够准确地反映出真空系统中的气体压力变化。

XEN-3880-RW热导式气体传感器
XEN-3880-RW是荷兰Xensor Integration公司生产的一款高性能热导式气体传感器，具有以下特点：

• 高灵敏度： 对气体浓度变化非常敏感，能够检测到微小的压力变化。
• 高分辨率： 能够提供精确的压力测量结果。
• 宽工作温度范围： 可在-250°C~150°C的温度范围内工作。
• 宽湿度范围： 可在0~95% RH的湿度范围内工作，无冷凝现象。
• 低流量灵敏度： 对气体流速的变化不敏感，能够提供稳定的测量结果。
• 小型化设计： 体积小巧，易于集成到各种设备中。
  

XEN-3880-RW在皮拉尼真空计中的应用
XEN-3880-RW传感器可以用于各种皮拉尼真空计中，广泛应用于以下领域：

• 半导体制造： 实时监测真空腔体内的压力，确保工艺过程的稳定性和重复性。
• 真空镀膜： 精确控制真空度，保证薄膜的质量和性能。
• 材料研究： 实时监测真空系统的压力，为材料的制备和表征提供关键数据。
• 表面科学： 确保实验过程中的压力稳定，提高实验数据的可靠性。
• 航空航天： 监测真空舱内的压力，确保测试条件的准确性。
• 真空冶金： 精确控制炉内的真空度，提高产品质量。
• 真空干燥： 监测干燥过程中的压力，确保产品质量和安全。
• 真空包装： 提供实时压力监测，保证包装质量。
• 真空检漏： 检测微小的泄漏点。
  

值得一提的是，Pirani真空计还具有许多优点，如易于使用、经济实用、输出监控灵活等。它没有移动部件，因此能够提供多年无故障、可靠的压力测量。同时，由于其内部尺寸较小，仪表的响应速度也非常快。然而，需要注意的是，对流增强型Pirani真空计在测量过程中可能需要更大的体积来支持对流，因此响应速度可能稍慢。此外，在污染严重的系统中使用时，应采取适当的措施来延长仪表的使用寿命。