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电子显微镜（Electron Microscope）是一种利用电子束作为光源，通过电子与样品相互作用来获取样品表面或内部结构高分辨率成像的设备。它主要包括透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）等类型。TEM的工作原理是，将电子束照射到超薄样品上，电子束穿过样品后，由于样品内部的结构和组成不同，电子束会发生不同程度的散射和吸收，从而形成带有样品信息的透射电子。这些透射电子被磁透镜系统聚焦并放大，最终在荧光屏或检测器上形成图像。TEM具有极高的分辨率，能够达到原子级别，适用于观察材料的内部结构和缺陷。SEM的工作原理则不同，它将电子束聚焦成极细的探针，以光栅扫描方式逐行扫描样品表面。当电子束轰击样品时，会激发出二次电子、背散射电子和特征X射线等信号。这些信号被不同的探测器收集，经过处理后形成反映样品表面形貌、成分和晶体取向等信息的图像。SEM对样品表面的微观形貌有立体感强的成像效果，且制样要求相对简单。
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发表于 2024-9-2 11:20:59
发表于 2024-9-2 11:27:04
