氦质谱检漏仪常见故障处理办法

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氦质谱检漏仪是一种高精度、高灵敏度的检漏设备，广泛应用于航空航天、半导体、制冷系统等领域。然而，在使用过程中，由于各种原因，氦质谱检漏仪可能会遇到各种故障。  
常见故障及处理方法  
一、氦质谱检漏仪界面上TMP显示“0”，即分子泵未工作  
故障现象：分子泵未启动，TMP显示“0”。  
故障原因：  
1.前级压力过高（启动压力应小于200Pa）。  
2.真空规管有问题。  
3.分子泵出口未打开。  
4.机械泵油太脏或机械泵未转动。  
5.系统有泄漏。  
6.分子泵叶片或转子损坏。  
7.电路板保险丝烧断或短路。  
处理方法：  
1.检查并调整前级压力。  
2.检查真空规管是否正常。  
3.确保分子泵出口打开。  
4.更换机械泵油或检查机械泵是否正常工作。  
5.检查系统是否有泄漏点。  
6.自行用工具拨动分子泵叶片，判断其是否能转动。  
7.检查并更换电路板保险丝，检查是否有短路现象。  
二、灯丝无法正常启动  
故障现象：机械泵和分子泵正常工作，但灯丝无法发射离子流。  
故障原因：  
1.离子源损坏。  
2.离子源航空插座与接线柱开路。  
处理方法：  
1.更换离子源。  
2.检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路则更换灯丝或消除短路现象。  
三、本底信号过高或不稳定  
故障现象：本底信号高于正常范围或波动较大。  
故障原因：  
1.环境本底被污染。  
2.质谱室被污染。  
3.泵油吸附氦气过多。  
4.电源电压不稳定。  
处理方法：  
1.检查实验室内是否有氦源泄漏，通风降低环境本底。  
2.检查泵油是否浑浊或吸附氦气过多，必要时更换泵油。  
3.将检漏仪送至维修中心清洗质谱室。  
4.检查电源电压是否稳定，使用稳压电源。  
四、灵敏度低  
故障现象：检漏灵敏度低，无法检测到微小泄漏。  
故障原因：  
1.质谱室压力未达到要求。  
2.离子源被污染。  
处理方法：  
1.等待质谱室压力降至10^-6MPa以下再进行检漏。  
2.检查并清洗离子源。  
五、氦本底太高  
故障现象：检漏时氦本底信号过高。  
故障原因：  
1.机械泵油失效。  
2.仪器系统有泄漏。  
3.真空管路污染。  
4.环境污染。  
处理方法：  
1.更换机械泵油。  
2.检查仪器系统是否有泄漏，修复泄漏点。  
3.清洗真空管路。  
4.在检漏口安装气瓶，减少环境氦污染。  
六、检漏键无效  
故障现象：按检漏键无反应。  
故障原因：  
1.灯丝未启动或断裂。  
2.I/O短接插头未插入。  
处理方法：  
1.检查灯丝是否启动，若未启动则更换灯丝。  
2.确保I/O短接插头已插入仪器后面插座。

卓凯仪表

顶楼主！这个问题困扰我好久了，终于找到解决办法了。

艾克佐迪亚

深有同感，表示苟同

mt_zz

你的建议非常实用，会尝试应用。